Wafer Loader

개요

Olympus Korea의 산업용 현미경에 웨이퍼 스테이지를 제작하여 웨이퍼를 자동 삽입 및 언로드하는 시스템입니다. 측정 시스템은 웨이퍼 Lot / Wafer 별 측정 지시에 대한 바코드 인식을 진행하며 Z축 연동에 의한 웨이퍼 단차 측정 기구입니다.

Specification