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대형 시료 검사 - 자동화된 클린룸 호환


초소형 MEMS 센서에서부터 매우 큰 XXL 웨이퍼 또는 평판 디스플레이 전체에 이르기까지, 시료를 파괴하지 않고 분석하십시오. 최대 254mm 높이의 시료를 수용할 수 있고 평면 공간이 300mm에 달하는 ZEISS Axio Imager Vario를 사용하여 다양한 시료를 검사하십시오. 컬럼은 매우 안정적으로 설계되었습니다. 클린룸에서 웨이퍼 제어 – ZEISS Axio Imager Vario는 DIN EN ISO 14644-1 인증을 획득했으며 클래스 5 요건을 충족합니다. 전동식 z-드라이브와 하드웨어 자동 포커스의 결합으로 최적의 초첨 위치로 자동 설정됩니다.

● 최대 시료 높이 254mm, 최대 평면 시료 공간 300mm x 300mm의 장점을 활용하십시오. 업계에서 인증 받은 3버튼 조작 기능으로 수동 컬럼 두 개와 전동 컬럼 한 개 중에서 선택할 수 있습니다.
● ZEISS Axio Imager Vario는 시료 위에 노즈피스를 위치시킨 후 초점을 맞춥니다. 즉, 초점 정확도가 높고 반복 검사가 가능하므로 특히 대형 시료 검사에 유용합니다.
● 하드웨어 자동 포커스를 통해 콘트라스트가 나쁜 반사 시료에서 정밀하고 빠르게 초점을 맞출 수 있다는 장점이 있습니다.
● ZEISS Axio Imager Vario와 함께 LSM 700을 사용하면 접촉 없이 높은 분해능으로 민감한 시료를 분석할 수 있습니다.
● ZEISS Axio Imager Vario는 DIN EN ISO 14644-1 인증을 획득했으며 클린룸 클래스 5 요건을 충족합니다.


Catalog download : Axio-Imager-Vario.pdf


  1. BXiS

  2. Zeiss Axio Imager Vario

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